1、特種氣體
特種氣體是在特定領域應用的氣體,不同領域特種氣體在純度、性質等特性方面有著差別。
2、特種氣體種類
當前,特種氣體主括電子氣體、高純氣體和標準氣體三大類;使用領域如下:
標準氣體:監測作用,比如環保類標準氣體,醫藥衛生標準氣體。
高純氣體:傳統工業氣體,用于鋼鐵,化工,電力,金屬加工等領域。
電子氣體:也稱半導體特種氣體,主要分為特殊氣體,如:SiH4、PH3、
AsH3、B2H6、N20、NH3等等;大宗氣體,如反應氣體02,H2等;惰性氣體,如:氬氣,嘎氣,氦氣等。

3、國內上市公司
1)華特氣體,1999年成立,是一家致力于特種氣體國產化,并率先打破集大規模集成電路、新型顯示面板等尖端領域砌體材料進口制約的氣體廠商。主要產品包括六氟乙烷、四氟化碳、氨氣、光刻氣、鍺烷、磷烷、砷烷、硒化氫、乙硅烷。
2)金宏氣體,1999年成立,是一家專業從事氣體研發、生產、銷售和服務一體化解決方案的環保集約型綜合氣體供應商。主要產品包括笑氣、六氟乙烷、三氟甲烷、八氟環丁烷、二氧化碳、TEOS。
3)科美特(雅克科技),1997年成立,致力于電子半導體材料,深冷復合材料以及塑料助劑材料研發和生產。主要產品六氟化硫、四氟化碳。
4)昊華科技,前身是四川天一科技股份有限公司,主要生產和銷售碳一化學技術及催化劑,在氣體分離、純化應用領域居于世界前列。主要產品包括三氟化氮、六氟化硫、六氟化鎢、四氟化碳。
5)南大光電,專業從事先進電子材料研發、生產和銷售的高新技術企業,通過設立子公司全椒南大光電材料有限公司進入特種氣體領域。主要產品包括砷烷、三氟化氮、六氟化硫。

來源:《特種氣體行業專題報告:國產化需求提升電子特氣行業迎來發展機遇(19頁).pdf》
《【精選】2021年電子特種氣體市場華特氣體公司成長空間分析報告(28頁).pdf》
《【研報】半導體行業電子氣體深度報告:半導體材料·電子氣體投資寶典-20200324[59頁].pdf 》