
受 AI 算力拉動,混合鍵合空間廣闊。當前,混合鍵合設備尚處于產品導入期,在圖像傳感器、邏輯芯片和存儲器領域初步實現產業化。三星將在 X-Cube、Saint 平臺上均將采用混合鍵合,分別用于內存-內存、邏輯芯片-存儲芯片/邏輯芯片的堆疊,英特爾則將把其應用在 Foveros 上,有望在 2024 年率先實現邏輯芯片與互連器之間的混合鍵合技術。此外,海力士也可能率先使用混合鍵合至其 HBM4 芯片上?;旌湘I合核心應用主要為:邏輯端,SoIC 3D chiplet 堆疊、SRAM+Logic 堆疊及 GAA 背面供電;存儲端,3D NAND(W2W)、HBM(>16 層,D2W)、3D DRAM 等;及背照式 CMOS 圖像傳感器。根據 Yole 預測,當前雖然還沒有 HBM 應用混合鍵合,隨著堆疊層數增加、集成度要求更高,2028 年混合鍵合工藝預計將占據 HBM 所用工藝的 36%。根據 Besi 預測,中性假設下,2030 年對混合鍵合系統需求將達到 1400 臺,以 200 萬歐元測算,設備市場累計總空間為 28 億歐元。根據Yole 測算,2027 年 W2W 和 D2W 混合鍵合設備市場空間預計達到 5 億/2.3億美元?;旌湘I合已成為全球半導體設備廠重點布局方向,包括 AMAT、ASMPT、Shibaura、TEL、SUSS 等紛紛入局,國內大陸公司包括拓荊科技、華卓精科等。