
在硅光芯片中,通過融合不同材料體系,可突破單一材料的性能局限,實現性能與成本的平衡。 (1)異質集成技術將InP等高發光效率的III-V族材料與硅基襯底結合,解決了硅材料間接帶隙導致的發光效率低問題,同時保留硅基CMOS工藝的低成本和大規模制造優勢。 (2)用鈮酸鋰薄膜(LNOI)與硅的異質集成,可將調制器帶寬提升至200GHz以上,顯著增強高速通信性能。 (3)通過晶圓級鍵合或外延生長技術,既能兼容成熟半導體工藝以降低制造成本,又能實現光電器件的高密度集成,提升系統可靠性。這種多材料融合策略不僅優化了硅光芯片的帶寬、能效和抗干擾能力,還能通過規?;a攤薄成本,推動其在疏通機電信等場景商業化落地。