靈敏度：電容式、壓電式與光學式表現最佳（高靈敏度），適用于微位移檢測（如精密裝配）；應變式與磁電式靈敏度中等，適配常規工業場景。線性度：磁電式線性度最優（高），壓電式最弱（低），光學式需依賴光柵/光纖設計優化。穩定性：壓電式與光學式穩定性最高（抗環境干擾強），而電容式易受溫濕度影響（低穩定性），應變式受膠水老化與溫度漂移制約。響應頻率：應變式、壓電式及光學式響應頻率快（＞10kHz），適合高頻振動監測；電容式與磁電式響應較慢（＜1kHz），適用于靜態或低速場景。成本：光學式因光柵/激光組件成本高，壓電式次之，其余三類（應變式、電容式、磁電式）成本優勢顯著。