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刻蝕用單晶硅材料產業鏈-行業數據

刻蝕用單晶硅材料產業鏈
刻蝕用單晶硅材料產業鏈
刻蝕用單晶硅材料主要用于加工制成刻蝕設備上的硅電極，由于硅電極在硅片氧化膜刻蝕等加工工藝過程會被逐漸腐蝕并變薄，當硅電極厚度減少到一定程度后，需替換新的硅電極，因此硅電極是晶圓制造刻蝕工藝的核心耗材。
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所屬報告： 【研報】化工行業新材料系列報告五：刻蝕用單晶硅是晶圓制造的核心耗材之一-20200214[16頁].pdf
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