CVD 設備：公司布局拓展了 DCVD （包括 PECVD、SACVD、介質原子層沉積）和 MCVD（包括 LPCVD、MOCVD、金屬原子層沉積） 兩大系列產品。實現金屬硅化物、金屬柵極、鎢塞沉積、高介電常數原子層沉積等工藝設備的覆蓋。截至 2023 年底，北方華創已實現 30 余款 CVD 產品量產應用，為超過 50 家客戶提供技術支持，累計出貨超 1000 腔。