行業在沉積速率與均勻性&透光率之間傾向于選擇前者，對應 VHF-PECVD。按射頻頻率，PECVD 可分為射頻增強等離子體化學氣相淀積（RF-PECVD）和甚高頻等離子體化學氣相淀積（VHF-PECVD），RF-PECVD 技術成熟，穩定性好，薄膜均勻，但沉積速率較慢。頻率更高的 VHF-PECVD 具有高技術壁壘，沉積速率極快，能夠大幅提升生產效率，但薄膜均勻性較差，且過快的沉積速度不利于對薄膜厚度的精準控制，導致透光率較低。行業在沉積速率與均勻性&透光率之間傾向于選擇前者，VHF-PECVD 因此得到了更為廣泛的應用。目前只有邁為股份和理想萬里暉布局 VHF-PECVD 路線，其余廠商均使用主流的 RF-PECVD 以保證高均勻性與透光率。