歷了1990s的奠基階段和2000s的技術實力突飛猛進，直至2010年才開始實現穩定盈利。2010-2021年ASML憑借中高端的浸沒式和EUV光刻機充分享受半導體擴產的紅利。2022年以來，ASML開始發力提升光刻機的產能與既有光刻機的迭代升級，2023年成功推出首臺High-NA EUV光刻機EXE 5000。