分應用于關鍵區域抽檢和復查，與光學檢測技術形成互補。根據MMR，2022年全球電子束檢測市場中，1nm以下應用占比過半，隨著先進制程、復雜器件的持續發展，電子束檢測技術優勢愈發明顯，2022-2029年全球電子束檢測市場有望快速增長，CAGR預計為19.9%，2029年市場規模有望增至25.8億美元，屆時10nm以上應用將成為電子束技術的主要市場。