
2)燒結工藝:引入燒結助劑是目前氮化鋁陶瓷燒結普遍采用的一種方法,一方面是形成低溫共熔相,實現液相燒結,促進坯體致密化;另一方面是去除氮化鋁中的氧雜質,完善晶格,提高熱導率。據潮州三環試驗數據,隨著燒結助劑含量增加,基板成瓷密度隨之上升,而導熱率在燒結助劑添加量為 1.5%時達到最高;隨著燒結溫度的升高,氮化鋁成瓷密度、晶粒尺寸及導熱率呈不斷上升的趨勢,在 1800℃時密度趨于穩定,而基板的抗折強度則是先上升,在 1750℃時達到最大值后開始下降。選擇合適、合量的燒結助劑能夠降低氮化鋁基片達到最高熱導率所需的溫度,在保證基板熱導率達到最高理論值的同時降低生產成本。