量價拆分：EUV 單價 1.72 億歐元大幅領先，中低端光刻機以量取勝。2023年 EUV/ArFi（浸沒式）/ArF（干式）/KrF/I-Line 分別出貨 53/125/32/184/55臺，單價分別 1.72/0.72/0.24/0.12/0.05 億歐元。高價值量的 High-NA EUV 光刻機開始滲透（約 3.5 億歐元/臺，大幅高于 Low-NA EUV 的 1.7 億歐元），有望推高單價；尖端光刻機受益于先進制程擴產、中低端光刻機受益于成熟制程擴產，出貨量有望穩步增長。