低能大束流離子注入機技術含量最高，市場占比最大。離子注入工藝中，離子束的流量被稱為離子束電流，電流越大，單位時間內注入的雜質原子數量也隨之增大。大電流有助于提高硅片產量，是離子注入機的一大參數。另一重要參數是注入機的能量，能量越高意味著雜質原子穿入硅片越深，而能量越低，能耗越小，離子束的控制難度就越高。隨著芯片制程的不斷提升，市場對低能離子注入機需求不斷增大。由此，市場上離子注入機按種類可分為低能