什么是電子氣體？種類有哪些？生產難在哪里？

1、電子氣體

一般來說，電子氣體是指運用于電子半導體行業的特種氣體，當前主要有兩電子特種氣體和電子大宗氣體兩大類;被廣泛應用于平面顯示行業、太陽能電池行業以及集成電路制造行業等，其中集成電路領域是電子氣體的主要應用領域。

2、電子氣體種類

以下將根據用途不同，對前述兩大電子特種氣體進行細分，具體如下：

1)電子特種氣體

①用于化學氣相沉積(CVD)方面，主要氣體產品包括氨氣、氦氣、氧化亞氮、TEOS(正硅酸乙酯)、TEB(硼酸三乙酯)、TEPO(磷酸三乙酯)、磷化氫、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化鎢、六氟乙烷、四氯化鈦、甲烷等。

②用于離子注入，主要產品包括氟化砷、三氟化磷、磷化氫、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙氣等。

③用于光刻膠印刷，主要產品包括氟氣、氦氣、氪氣、氖氣等。

④用于擴散，主要產品有氫氣、三氯氧磷等。

⑤用于刻蝕，主要產品有氦氣、四氟化碳、八氟環丁烷、八氟環戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯氣、溴化氫、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等。

⑥用于摻雜，含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼、磷化氫、砷化氫等。

2)電子大宗氣體

主要產品包括環境氣、保護氣、載體 氮氣、氧氣、氬氣、二氧化碳等。

3、電子特殊氣體生產難在哪里

1)制造工藝復雜

制造一份可用的特殊氣體，一般需要經過氣體合成、純化、混配以及氣瓶處理四道工序，整個過程中涉及對溫度的掌控、催化劑的添加、精餾、吸附等提純技術，最后還需根據氣體性質對氣瓶的內外壁進行處理，每個環節都至關只要，不能有絲毫差錯。

2)對純度的要求極高

集成電路領域中，半導體芯片制造對電子氣體的純度要求極高。納米級別的芯片如果氣體中的雜質過多，芯片良率和可靠性都會受到影響，因此，當前電子氣體的純度必須在需要6N級(99.9999%)甚至更高的純度，而在其他領域，特種氣體的純度只需控制在99.99%以內。

3)認證時間長，要求苛刻

電子氣體用于光伏能源，光纖光纜，領域的認證周期約為0.5至1年的時間，顯示面板通常為1-2年，集成電路由于要求較高，認證周期能達到2-3年時間;在這段時間內，電子氣體公司無法通過該產品獲得利益，全靠自身資金支撐，如果本身資金出現問題，產品就無法成功應用，此外，供應商在選擇某產品時往往會選擇比當前所用氣體質量更高的產品。

來源：《【研報】半導體行業電子氣體深度報告：半導體材料·電子氣體投資寶典-20200324[59頁].pdf 》

《特種氣體行業專題報告：國產化需求提升電子特氣行業迎來發展機遇(19頁).pdf 》