用于先進制程的光刻機主要為 EUV 與 ArFi，2022 年公司 EUV 與 ArFi 出貨量分別為 40臺與 81 臺，公司預計到 2025 年 EUV 相對 ArFi 的銷量將顯著提升。2）ASP：2022 年公司 EUV 與 ArFi 平均售價分別為 1.8 億歐元與 6250 萬歐元，而根據中國電子報報道，High-NA EUV 單價有望超過 3 億美元（約 2.8 億歐元），幾乎為當前 EUV 的兩倍。Low-NA EUV 的銷量提升，以及 High-NA EUV 的開啟交付，都將持續推高公司整體 ASP。3）產能：為應對未來快速增長的光刻機需求，公司持續提高自身產能（非交付量），預計2025-2026年DUV光刻機年產能將達到 600臺/年，Low-NA EUV光刻機將達到 90臺/年，到 2027-2028 年 High-NA EUV 光刻機產能將達到 20 臺/年。同時，公司還將通過提高單光刻機的晶圓產能，到 2025-2026 年分別將 DUV 與 Low-NA EUV 的總晶圓產能提升至2020 年的 3 倍與 5 倍。4）我們認為：EUV 持續供不應求，公司有望通過 Low-NA EUV的擴產與 High-NA EUV 的出貨實現整體光刻機業務的量價齊升；公司 2025-2030 年的營收增長中，將有超過半數以上的增長貢獻將來自于 EUV（100 億歐元），我們持續看好由EUV 主導的業績提升。