ASML 在全球光刻機市場一家獨大。 2023 年 ASML、Nikon 和 Canon 共出貨光刻機 681臺，其中 ArF、ArFi 和 EUV 型號的高端光刻機出貨量為 229 臺，其中 ASML 出貨 210 臺，占到約 92%份額，ArFi（浸沒式）光刻機共出貨 134 臺，出貨量較 2022 年增長 50%；在EUV 市場，ASML 是唯一具備 EUV 光刻機量產能力的公司，2023 年出貨量為 53 臺。