圖12.深紫外(DUV)光刻術 2000 年 8 月,阿斯麥爾的首臺 TWINSCAN 系統光刻機出貨,這是光刻機行業的一大進步。此前的光刻機都只有一個工件臺,而阿斯麥爾創新為雙工件臺,在一個工件臺進行 12 英寸晶圓曝光的同時,另外一個工件臺進行曝光之前的預對準工作,生產效率可驚人地提高大約 35%。 其它 下載Excel 下載圖片 原圖定位