
泛半導體領域:應用需求主要聚焦在藍寶石長晶爐熱場部件和 MOCVD 加熱器組件 1)藍寶石晶體具有高強度、高硬度、耐高溫、耐磨擦、耐腐蝕、透光性能好、電絕緣性能優良等一系列優良的理化特性。因此,藍寶石可被廣泛用于國防、科研、民用工業等各種要求苛刻的領域。近年來,以 LED 照明襯底和消費類電子觸摸屏為典型代表的民品需求大幅提升,給藍寶石長晶行業帶來了前所未有的商機。中商產業研究院數據顯示,全球藍寶石長晶設備市場規模將從 21 年 20.86 億元增長至 25 年 26.67億元,4 年 CAGR 為 6.3%。 2)MOCVD 是一種利用有機金屬分解反應進行氣相外延生長薄膜的化學氣相沉積技術。MOCVD 設備可以應用于 LED和 GaN、SiC 等功率器件外延片的生產制造。LED 外延片的制備是 LED 芯片生產的重要步驟,與集成電路在多種核心設備間循環的制造工藝不同,主要通過 MOCVD 單種設備實現。因此,MOCVD 設備是 LED 芯片生產和功率器件制造過程中的關鍵設備。據華經產業研究院統計,全球 MOCVD 設備市場規模將從 20 年 8.40 億美元增長至28 年 16.38 億美元,8 年 CAGR 為 8.7%。