MOCVD 常用于制造發光二極管（LED）、激光器、功率器件、射頻器件等，其中LED 為第一大應用。與集成電路需要多種設備、多步循環的制造工藝不同，制造三五族化合物器件主要靠 MOCVD 設備實現，且設備大部分市場在中國大陸。2020 年全球 MOCVD設備市場規模為 4.19 億美元，Yole 預計將以 7.0%的復合年增長率增長的 2026 年至 6.3 億美元（約合 44 億人民幣）。